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爪型干式真空泵的应用

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爪型干式真空泵的应用

发布日期:2018-01-30 作者: 点击:

爪型干式真空泵概述

爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。

爪型干式真空泵的结构

爪型干式真空泵的结构,一般采用多级转子串联,或罗茨转子与多级转子串联的形式,组成多级爪型干式真空泵。

如图所示,四级泵腔依次串联,每级泵腔内各有一对共轭啮合,做同步反向运动的爪型转子。

四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级,其吸气容积比后面三级大,形成级间压缩。

四对转子装在二根平行轴上,轴由上下两端轴承支撑,泵腔级与级之间有隔板,隔板上有吸排气通道。

电动机倒立安装,经过渡齿轮将动力传递到转子轴上,转子轴由一对同步时限齿轮带动及调整和固定转子的相位。

转子之间及转子与泵腔内部留有微小缝隙,转子悬浮于泵腔使得过流部分无任何实质性接触摩擦,也不需要润滑,这就保证了爪泵可以长期稳定保持极限真空、抽速、压缩比不变,寿命长。

爪型干式真空泵的特点

1) 泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空,对环境无污染;

2) 真空度高,可达3Pa;

3) 结构简单,易于操作和维护,运行成本低;

4) 能在较高压力下长期连续工作,噪声小;

5) 能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃 的气体和可凝性气体(例如水蒸气、有机气体等);

6) 能做气体传输泵使用,压缩比良好,可达10-105;

7) 转子对悬浮在泵腔内,转子对间,转子与泵腔间不接触,无摩擦,使用 寿命长。

爪型干式真空泵的应用

石化行业:

(1)能抽除酸性气体:如四氢呋喃等。(2)能抽除可凝性气体:如酒精、汽油等。(3)能抽除易燃易爆气体:如氧气、氢气、甲烷等。(4)防腐系列能抽除强酸性气体:如氯化氢气体、氟化氢气体、硫酸气体等。

医药行业:

结晶、蒸馏、升华、干燥、脱臭、聚合、真空蒸发、负压过滤、单体回收、吸附/脱附、物料输送腐、蚀性介质、环氧乙烷消毒等。

食品行业:升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。

科研院所:旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。

电子光伏:浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。

航天航空:钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。

冶金行业:浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

核工业:零泄露爪泵可抽除UF6气体

其它行业:中央空调、室内真空、污水处理、锂电池制造等。


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